真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣（qì）控製櫃三大工作原理。

真空主題--真空腔根據加工產品（pǐn）要求的各異，真空（kōng）腔的（de）大小（xiǎo）也不一樣，目前應用最多的有直（zhí）徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體（tǐ）由不鏽鋼材料製作，要求不生鏽、堅實等，真空腔各部分有鏈接閥，用來鏈接各抽氣泵浦（pǔ）。

輔助抽氣係統：排氣係（xì）統為鍍膜機真空係統的重要部分，主要有由（yóu）機械泵、增壓泵（主（zhǔ）要介紹羅茨泵）、油擴散泵三（sān）大部分組（zǔ）成，此排氣係統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

排氣流程為：機械泵（bèng）先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右（yòu）的低真（zhēn）空狀態，為擴散（sàn）泵後續抽真空提供前提，之（zhī）後當擴散泵抽（chōu）真空的時候，機械泵（bèng）又配合油擴散泵組成串聯，已這樣的方式完成（chéng）抽氣動作。

 機械（xiè）泵：也叫前級泵，機械泵（bèng）是應用最廣泛的一種低真（zhēn）空泵，它是（shì）用（yòng）油來保持密封效果並依（yī）靠機械（xiè）的方法不斷的改（gǎi）變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內（nèi）氣體（tǐ）的體積不斷膨脹從而獲（huò）得真空。