排氣係統為鍍膜機真空係統的重要部(bù)分,主要有(yǒu)由機械泵、增(zēng)壓泵(主(zhǔ)要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。今天
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機械泵是應用最廣泛的(de)一(yī)種低真空泵,它是用油來保持密封(fēng)效(xiào)果並依靠機械的方法不斷的(de)改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽(chōu)容(róng)器內氣體的體積不斷膨(péng)脹從而獲得真空。 機械泵(bèng)有(yǒu)很多種,常用的有滑閥式(此主要應用於大型設(shè)備)、活塞往複式、定片式和(hé)旋片式四種類型(xíng)。 機械泵常常被用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸(zhà)性和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用(yòng)來抽除永久性的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。旋片泵中起(qǐ)主要作用的部件是(shì)定(dìng)子、轉子(zǐ)、彈片等,轉子在定子裏麵但與定子不同心軸,象(xiàng)兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有(yǒu)彈簧,保證了彈片緊緊貼(tiē)在定子的內壁。
它的兩個彈片交替起著兩方麵的作用(yòng),一方麵從進氣口吸進氣體,另一(yī)方麵(miàn)壓縮(suō)已經吸進的(de)氣體(tǐ),將氣體排出泵(bèng)外。轉子每旋轉一周,泵完成兩(liǎng)次吸氣和兩次排氣。當泵連續順時針轉動時,旋片泵不斷的通過進氣口吸入氣體,又從排氣(qì)口不(bú)斷的排出泵外,實現對容(róng)器抽氣的目的。為了提高泵的極限真空度(dù),均將泵的定子浸在(zài)油裏麵這樣(yàng),在各處的間隙中及有害空間裏(lǐ)麵經常保持足夠的油,把(bǎ)空(kōng)隙填滿,所以油一方麵起到了潤滑作用,另一方麵又起了密封和堵塞縫隙及有害空間的作用,防止氣(qì)體分子通過(guò)各種渠道反流到壓強低的空間去。
機械泵是從大氣開(kāi)始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣速率,此為(wéi)設計與選(xuǎn)用機械泵(bèng)的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙(shuāng)級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。
抽氣速(sù)率,是指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內所能排出氣體的體(tǐ)積,可(kě)以用下公式計(jì)算:
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸氣結束時空(kōng)腔截麵積,L表示空腔長度,係數表示轉子(zǐ)每旋轉一周有兩次(cì)排氣過程,Vs表示當轉子處於(yú)水平位置的時候,吸氣結束,此時空(kōng)腔內的(de)體積最大,轉速為n。
機械泵排氣的效果還與電(diàn)機(jī)的轉速及皮(pí)帶的鬆緊度有(yǒu)關係,當電機的(de)皮(pí)帶比較鬆,電機轉速(sù)很(hěn)慢的時(shí)候,機械泵的排(pái)氣效(xiào)果(guǒ)也(yě)會變差,所以要經常保養,點檢(jiǎn),機械泵油的密封效果也需要(yào)常常(cháng)點檢,油過少,達不到密(mì)封效果,泵內(nèi)會漏氣,油(yóu)過多,把吸氣孔堵塞,無法(fǎ)吸氣和(hé)排氣,一(yī)般,在油位在線下0.5厘米即可。