油擴散泵的應用壓強範（fàn）圍（wéi）是10-1帕-10-7帕（pà），它是利（lì）用氣體的擴散現象來（lái）排氣（qì）的，它具有結構（gòu）簡單，操（cāo）作方便，抽速大（最高可以達到（dào）10+5升/秒（miǎo））等特（tè）點。油擴散泵主要由泵殼、噴（pēn）嘴、導流管和加熱器組（zǔ）成，裏麵主要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。 

        擴散泵底部內儲（chǔ）存有擴散泵（bèng）油，上部為進氣口，右側（cè）旁（páng）下部為出氣口（kǒu），在工作時出氣口由機（jī）械泵提供前置壓強，機械泵充當前置泵。 

        當擴散泵的油（yóu）被電（diàn）爐加熱時，產生的油蒸汽提供前置壓（yā）強，機械泵充當前置泵。當擴散泵油被電爐加（jiā）熱時，產生的油（yóu）蒸汽沿（yán）著導流管經（jīng）傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外麵有機（jī）械泵提供的1-10-1帕（pà）的真空，故油蒸（zhēng）汽可噴出一段距（jù）離，構成一（yī）個向出氣口方向運動的射流。射流（liú）最後碰上由冷卻（què）水冷卻的泵壁，凝結為液體，流回蒸（zhēng）發（fā）器，即靠油的蒸發——噴射——凝結（jié），重複循（xún）環來實現抽氣（qì）的。 

         由進氣口進入泵內的氣（qì）體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去，由（yóu）於射（shè）流具有高的流速（約200米/秒），高（gāo）的蒸汽密度，且擴散泵油具有高的分子量（300-500）故能有（yǒu）效的帶走氣體分（fèn）子，因此在射流的界（jiè）麵內，氣體分子不可能長期滯（zhì）留，且在射流界麵（miàn）的兩邊（biān），被抽氣體有很大的濃度差，正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界麵，擴散進入射流中（zhōng），被帶往出口處（chù），在出口處再（zài）由機械泵抽走。 

         擴（kuò）散泵的油（yóu）蒸汽（qì）壓是決定泵的（de）極限真（zhēn）空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低（dī）的泵油，其化學特性要好。 

         擴散泵不能單獨用來抽氣，一般（bān）要（yào）求泵的最大出（chū）口壓強為40帕。擴散泵的抽速決定於第一級噴嘴與泵體進氣口口徑間環形（xíng）麵積的大小，抽速不是一恒定（dìng）的值，而是隨著進氣口的壓強而變化的，當壓強在10-2～10-3帕的時候，擴散（sàn）泵的抽氣（qì）速度是最快的，當壓強小（xiǎo）於5*10-4帕之後，擴散泵的抽氣速度最小，幾乎沒有抽氣（qì）能力（此時，進氣口的壓強較高，由於空氣的密度較大，使蒸（zhēng）汽（qì）流形（xíng）成不了高速射流以阻擋空氣的反（fǎn）擴散，所以抽速下降（jiàng））。 

        擴散泵在安裝前要清洗（xǐ），之後才可以（yǐ）裝入擴散油，油在加熱前，必須要先對泵抽真空，停（tíng）機前（qián）要先將擴散泵油冷卻到60～70攝氏度，才可以關閉前級抽氣，最後關冷卻水。 

       由於油擴散泵（bèng）是無（wú）法杜絕有返油的幾率，那麽（me）沒有辦法（fǎ）保證精密產品（pǐn）的100％純淨，特別是半導體（tǐ）行業，所以就有“高（gāo）真空冷凝泵＋低真空機（jī）械泵”所組成的無油真空係統，冷凝泵組成的排氣係統不僅排氣（qì）效率（lǜ）極高，而且有效保證真（zhēn）空腔的清（qīng）潔（jié），保證產品的質量（避免產品被汙染、增強膜層與（yǔ）基（jī）板之間的附著（zhe）力），但是其維護成本非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴（kuò）散泵（bèng）廣泛。 

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