真空鍍膜機主要指一類需要在較（jiào）高真空度下（xià）進行的鍍膜，具體包括很（hěn）多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸（zhēng）發（fā）和濺射兩種。真空鍍膜機是目前（qián）製作真空條件應用最為（wéi）廣泛（fàn）的（de）設備，對其操作程序（xù）的了解是至關重要的環節，在真空（kōng）鍍膜機的具體操作（zuò）過程中建議參照以下標注說明：

        一、 檢查真空鍍膜機（jī）各操作控製開關是否在"關"位置。

        二、打開總電源開關，設備送電。

        三（sān）、低（dī）壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流（liú）聲後，啟動升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲（sī）穿（chuān）放在螺旋加熱（rè）子內。清理鍾罩內各部位，保（bǎo）證無任何雜質（zhì）汙（wū）物。

        五（wǔ）、落下鍾罩。

        六、啟動抽真空機械泵。

        七、開複合真空（kōng）計電源(複合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕（niǔ）"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置（zhì）。

               2）低真（zhēn）空表"2"內（nèi）指針順時針（zhēn）移動，當指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

        八、當低真空（kōng）表"2"內指針再次順時針移動至6.7Pa時，低（dī）壓閥推（tuī）入。這時左旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

        九、 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低壓（yā）閥拉出。重複一次⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉（zhuǎn）至指向2區段測量位置。低真空表"2"內指針順時針移動，當指針移動（dòng）至6.7Pa時，開高壓閥(閥杆順時針旋轉)。

        十一、等低真空表"2"內指針右移動至0.1Pa時，開規管燈絲開（kāi）關。

                1）發射、零點測量鈕"9"旋轉至指向發射（shè）位置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量（liàng）位置。

        十二、 旋轉發射調節鈕"4"，使高壓真空表"5"內指針指向5。

        十三、 發射、零點、測量旋鈕（niǔ）"9"旋轉至指向零點位（wèi）置。

        十四、旋轉零點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位置。

        十五、 發射、零點（diǎn）、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位置。

        十六、旋轉（zhuǎn）標準調節鈕（niǔ）"3"，讓高壓真空表"5"內指針指向10。

        十七、旋（xuán）轉"倍加器"開關鈕"8"至指（zhǐ）向10-12，當高壓（yā）真空表"5"內指針逆（nì）時針左移超過1時，再把"倍（bèi）加器"開關旋（xuán）鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉（zhuǎn）鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉（zhuǎn）動。

        十九、開蒸發鈕開關。把電流分插塞插入蒸發電極分配孔內(設（shè）有1、 2、 3、 4孔，可插入（rù）任意一孔)。

        二十、 右手旋轉右側調壓器手輪，慢慢旋（xuán）轉升壓。

                  1）從視鏡窗口（kǒu）觀察鎢（wū）螺旋加（jiā）熱子的加熱溫度顏色變化情況（kuàng）。

                  2）當鎢螺旋加熱子顏色變成黃（huáng）橙色，鋁絲開始熔化時，左手（shǒu）操作擋板鈕，移開（kāi）鎢螺旋上方擋板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋板回原位。

                  4）右手旋轉調壓器手輪回零（líng）位（wèi）。第一次（cì）蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍一（yī）次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個（gè）電極分配孔。重複⑳操（cāo）作動作。

        二十二、 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥（fá）(逆時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉機械泵鈕至指向擴散（sàn）泵（bèng）位置（zhì）。

        二十三、 低壓閥拉出。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾罩。

        二十四、鎢螺（luó）旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄（báo）膜調換另一麵向下 (原下麵已鍍一層鋁膜麵向上（shàng）)。緊固在轉動圓盤上。

        二十五（wǔ）、 落（luò）鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向（xiàng）2區段測量位置 。

                    2）當低壓（yā）真空（kōng）表"2"內指針順（shùn）時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量（liàng）位置。

                    4）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

                    5）當低（dī）壓真空（kōng）表"2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規管燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作至⑳ 。

        二十六、 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關閉規管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電後，先讓機械泵啟動工作3~5min後（hòu），再（zài）轉入（rù）正常生產。