真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行(háng)的(de)鍍膜(mó),具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射(shè),MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。今天,昆山国产精品无码av片在线观看播真空技術(shù)工程有(yǒu)限公司為您介紹以(yǐ)下幾種鍍膜機工作(zuò)原理:
一、空心陰極離子鍍原理
在本底真空為高真空的條件下,由陰極中(zhōng)通(tōng)入氬器氣(1-10-2)在陰極與輔助陽極之間加上(shàng)引弧電壓,使氬氣發生輝光放電,在空心陰極內產生低壓等離子體放電,陰極溫度升高到2300-2400K時,由(yóu)冷陰極放電轉(zhuǎn)為(wéi)熱陰(yīn)極放電,開始熱電子發射(shè),放電轉為穩定狀態。通入反(fǎn)應(yīng)氣體,可以製化合膜。
二、測控濺射工作原理
先將真空室預(yù)抽至10-3Pa,然後通入氣體(如氬氣),氣壓為(wéi)1-10 Pa時,給靶加負電壓(yā),產生輝光放電,電子在電場正作用(yòng)下加速飛向基片時,與氬原子碰撞,電離出Ar和另一個電子;轟(hōng)擊(jī)靶材,由二次(cì)電(diàn)子電離的 越來(lái)越多,不斷轟(hōng)擊靶材;磁場改變電子的運動方(fāng)向(xiàng),以電磁場束縛和(hé)延長電子的運動軌跡,從而提高電子對工作氣體的電離幾率。
三、多弧(hú)離子鍍工作原理
其(qí)工作原理為冷(lěng)陰極自持弧光放電,其物理基礎為場致(zhì)發射。被鍍(dù)材(cái)料接陰極,真空室(shì)接陽(yáng)極,真(zhēn)空室抽為高真空時,引發(fā)電(diàn)極啟動器,接觸拉開,此(cǐ)時,陰極與陽極之間形成穩定的電弧放電,陰極表麵(miàn)布(bù)滿飛速遊動的陰(yīn)極斑,部分離子對(duì)陰極斑的轟擊使(shǐ)其變成點蒸發源,以若幹個電弧蒸發源(yuán)為核心的為多弧離子鍍。
四、電阻蒸發式鍍膜(mó)機
膜(mó)材即(jí)要鍍的材料(liào)放於蒸發舟中,置(zhì)於真空室中,抽到一定真空時(shí),通過電阻加熱膜材,使其蒸發,當蒸發分子的平均自由程大於蒸發(fā)源至基片的線性尺寸時,原子和分子從蒸發源中逸出後,到達基(jī)片形成膜。為了使膜厚均勻,可以利用(yòng)電機帶動基片旋轉,並用膜厚儀控製膜厚,製出優(yōu)質膜。
五、E型槍工作原理
陰極(jí)燈絲加熱後發射具有0.3 EV初動能的熱電子(zǐ),這些(xiē)熱電子在燈(dēng)絲陰極與陽極之間的電場作用下加速並會聚成束狀。在(zài)電磁線圈的磁場中(zhōng),電子束沿E x B的方向偏轉,通過陰極時,電子的能量提高到10KV,通過陽極電子偏轉270度角而(ér)入射坩堝內(nèi)的膜材表麵上,轟擊膜材使其蒸發。
六、PCVD鍍膜工作原理
將被鍍件放在低壓輝光放電的陰極上(shàng),通(tōng)入(rù)適當(dāng)氣體,在一定溫度下,利用化學反(fǎn)應和離(lí)子轟擊相結合的(de)過(guò)程,在工件(jiàn)表麵獲得塗層。
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