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真(zhēn)空蒸鍍、濺鍍、離子鍍

作者: 來源: 日期:2020-12-25 13:17:41 人氣(qì):2900

真(zhēn)空蒸鍍、濺鍍、離子鍍 

真空鍍主要包(bāo)括(kuò)真空(kōng)蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種類型,它們都是采用在真空條(tiáo)件(jiàn)下(xià),通過蒸餾或濺射等方式在塑件表麵沉積各種金屬和非金屬薄膜,通(tōng)過這樣的方式可以得到非常薄的表麵鍍層,同時(shí)具有速度快附著力好的突出優點,但是(shì)價格也較高,可以進行操作的金屬類型較少,一般用來作較(jiào)高檔產品的功能性鍍層


真空蒸鍍法(fǎ)是在高真空(kōng)下為(wéi)金屬加熱,使其熔融、蒸發,冷(lěng)卻後在樣品表麵(miàn)形成金(jīn)屬薄膜的(de)方法(fǎ),鍍(dù)層厚度(dù)為0.8-1.2um。將成形(xíng)品表麵的微(wēi)小凹凸部分填(tián)平,以獲得如鏡麵一樣的表麵,無任是為了得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是對密接性較低的奪鋼進行真空蒸鍍時,都必須進行底麵塗布處理。


濺鍍通常指的是磁控濺鍍,屬於高速低溫濺(jiàn)鍍法(fǎ)。該工藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣體氬氣(Ar),並在塑膠基材(陽極)和金(jīn)屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生的電子激發惰性氣體,產生等(děng)離子體,等離(lí)子體將金屬靶材的原(yuán)子轟出,沉積在塑膠基材上。一般(bān)金屬鍍膜大都采用直流(liú)濺鍍,而不導電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍(dù)。


離子鍍是在真空條件下,利用氣體放電使氣體或被蒸發物質部(bù)分電離,並在氣體離子或被蒸發物質離子的轟擊下,將蒸發物質或其反(fǎn)應物沉積在基片上的方法。其中包括磁控濺射離(lí)子鍍、反應(yīng)離子(zǐ)鍍、空心陰極放電離(lí)子(zǐ)鍍(空心陰極(jí)蒸鍍法)、多弧(hú)離子鍍(陰極電弧離子鍍)等(děng)

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