對於真空鍍膜(mó)機設備的分類,到底了解多少(shǎo)?
真(zhēn)空鍍膜(mó)機主要指(zhǐ)一類需(xū)要在較高真空度下進行的鍍(dù)膜設備,包括真空離子(zǐ)蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、
MBE分(fèn)子束外延鍍(dù)膜機和(hé)PLD激光濺射沉積鍍膜機等(děng)很多種。
主要是分(fèn)成蒸(zhēng)發和濺射兩(liǎng)種。
在真空(kōng)鍍膜(mó)設備中需要鍍膜的被成為基(jī)片,鍍的材料被成為靶材。
基片與靶(bǎ)材同在真空腔中。
蒸發鍍膜一般是加(jiā)熱靶材使表麵組分以原子團或(huò)離(lí)子形式被蒸發出來,並且沉降在基片表麵,通過成膜過程形成(chéng)薄(báo)膜。
真空鍍膜機對於(yú)濺(jiàn)射類(lèi)鍍膜,可以簡單(dān)理解為利用(yòng)電(diàn)子或高能激光轟擊靶材(cái),並使表麵組分以原子團或離子形式被濺(jiàn)射出來,
並且最終沉積在基片(piàn)表麵,經曆成膜過程,最終形成薄膜。爐體可選(xuǎn)擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合製成的雙層水冷結(jié)構。
根據工藝要求選擇不同規格及類型鍍膜(mó)設備,其類型有電阻蒸(zhēng)發(fā)真空鍍膜設備、電子束蒸發真空鍍膜設備、
磁控(kòng)濺(jiàn)射真空鍍膜設備、離子鍍真空鍍膜設(shè)備、磁控(kòng)反應濺射(shè)真空鍍膜設備、空心陰極離子鍍和多弧離子鍍等。
夾具運轉形式有自轉、公(gōng)轉及公轉+自轉方式,用戶可根據片尺寸及形狀提出相應(yīng)要求,轉動的(de)速度範(fàn)圍及轉(zhuǎn)動精度:普通可調及變頻(pín)調速等。