1. 電阻蒸發源蒸鍍發  


A. 加熱：高熔點金屬做成（chéng）適當（dāng）形狀蒸發源（yuán），電流通過直接加熱。 


B. 優點：結構簡（jiǎn）單（dān）、造價便宜、使用可（kě）靠


C. 缺點（diǎn）：所能到到的（de）最高溫（wēn）度有限，加熱器壽命較（jiào）短


D. 適合（hé）：熔（róng）點不太高，尤其（qí）對膜層質量要求不大高的大批量生產。 


 2. 電子束蒸發源蒸鍍發 


A. 蒸（zhēng）發材（cái）料放入冷水鉗（qián）鍋中，利用電子束加熱


B. 優點：獲得更大能量密度（dù），使（shǐ）高熔點材料蒸發且速度快，膜的純度較高（gāo），熱效率高。


C. 分類：環形槍（qiāng），直槍，e型槍和空心陰（yīn）極槍等幾種。


D. 適合：高熔點，純度要求（qiú）高的（de）材料。

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