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真空鍍膜機各部件以及原(yuán)理分析

作者: 來(lái)源: 日期:2020-03-16 9:52:53 人氣:36930
真空鍍膜機的(de)真空腔體----根據加工產品要求的差異,真空腔體大小也不一樣,目前應用比較多(duō)的有直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔(qiāng)體由不鏽鋼材(cái)料製作(zuò),要求不生鏽、堅實,真空腔體各部(bù)分有鏈接閥,用來鏈接各抽氣泵浦。

真空(kōng)鍍膜機(jī)的輔助抽氣係統:排氣係統為(wéi)鍍膜真空係統(tǒng)的重要(yào)組成(chéng)部分,機械泵、增壓泵/羅茨(cí)泵、擴散泵三大部分組(zǔ)成。這個排(pái)氣(qì)係統(tǒng)為:擴(kuò)散(sàn)泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱(jǐng)+polycold。排(pái)氣流程:機械泵先將真空腔抽(chōu)至小於2.0*10-2PA左右(yòu)的低真空狀態,為擴散泵後續抽真空提供前提,之(zhī)後當擴散(sàn)泵抽真空的時候,機(jī)械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。

真空鍍膜機的機械原理以及其分類:
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用很(hěn)廣的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果並依(yī)靠機械的方法不斷的(de)改變泵內吸氣空腔的體積,使(shǐ)被抽容器內氣體體積不斷膨脹從而獲得真空(kōng)。
一.機械泵(bèng)的分類:機械泵有很(hěn)多種,常用的有滑閥式(主要用於大型設(shè)備(bèi)),活塞往複(fù)式,定片式和旋片式(此目前(qián)運用很廣)
二.機械泵是(shì)從大氣開始工作的,它(tā)的主要參數有極限真空、抽(chōu)氣速率(lǜ)、此為設(shè)計和選(xuǎn)用(yòng)機械泵的重要依據,單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級泵可以將容(róng)器從大氣抽到6.7*10-2PA,甚至更高。抽氣速(sù)率是指旋片泵,按(àn)額定轉速運轉時,單位時間內(nèi)所能排出氣體(tǐ)的體積,可用公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截麵積,L表示空腔長度,係數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處於水平位置的時候(hòu),吸氣結束,此時空腔內的體積較大,轉數為n。機械(xiè)泵排氣的效果還與電機的轉數以及皮帶的鬆緊度有關,當電機的皮帶比較鬆,電機轉數很慢的時候,機械泵的排氣(qì)效果也會變差,所以要經常保養(yǎng),點檢,機械泵的密封(fēng)效果也需要經常點檢,由(yóu)過少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把(bǎ)吸氣孔堵塞(sāi),無法吸氣和排氣,一般在(zài)油位線下0.5厘米即可。
三.機械(xiè)泵常常被用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧量過(guò)高(gāo)、有爆炸和腐蝕性的氣體,機械(xiè)泵一般被用來抽除(chú)長久性的氣體,但是對水氣(qì)沒有好的效果,所以它不能抽除水氣(qì)。旋葉泵中起主(zhǔ)要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏(lǐ)麵但(dàn)與定子(zǐ)不同心軸,像兩個(gè)內切圓,轉子槽內裝有兩(liǎng)片彈片,兩片彈片中間裝有彈簧,保(bǎo)證了彈片緊緊貼在定子的內壁。 
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