CJ係列(liè)磁控濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣(qì):83720

CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控(kòng)濺射工作(zuò)原理,所謂(wèi)“濺(jiàn)射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從(cóng)而引起物體表(biǎo)麵原子(zǐ)從母體中逸出(chū)的現象。早在1842年(nián)Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為(wéi)曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於(yú)平麵靶和同(tóng)軸(zhóu)圓柱(zhù)靶。電子在電場(chǎng)作用下,加速(sù)飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具(jù)有足夠(gòu)的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶(bǎ)材發生濺射。 

應(yīng)用範圍(wéi)

廣(guǎng)泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機(jī)按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾(shì)性(xìng)鍍膜及工模具的功能塗(tú)層,在鍍製超黑(hēi)膜、純金裝飾膜、導(dǎo)電膜等(děng)領域有(yǒu)優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和重(chóng)複性好(hǎo)。能夠(gòu)可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大(dà)的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射(shè)原子產生不(bú)同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原子(zǐ)與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料(liào)的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成(chéng)TiN仿金膜;
4)、膜層純度(dù)高,濺(jiàn)射膜(mó)層中不會混入坩鍋加(jiā)熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。

技術(shù)參數表

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT400擴散(sàn)泵機組KT500擴散泵機組KT800擴(kuò)散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機(jī)組雙KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵機組(zǔ)
鍍膜係統直(zhí)流或中(zhōng)頻電源、鍍膜輔助離(lí)子專用(yòng)電源
充氣係統質(zhì)量(liàng)流量(liàng)計質量流(liú)量計質量(liàng)流量計質量流量計質量流量計質(zhì)量流量計質量流量計
控製方式手(shǒu)動或全自動手動或全自動手(shǒu)動或全自動手動或全自動手動(dòng)或全自動手(shǒu)動或(huò)全自動手動或全(quán)自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以(yǐ)上設備參數僅(jǐn)做(zuò)參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂(dìng)做
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