CJ係列(liè)磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣(qì):83720
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控(kòng)濺射工作(zuò)原理,所謂(wèi)“濺(jiàn)射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從(cóng)而引起物體表(biǎo)麵原子(zǐ)從母體中逸出(chū)的現象。早在1842年(nián)Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為(wéi)曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於(yú)平麵靶和同(tóng)軸(zhóu)圓柱(zhù)靶。電子在電場(chǎng)作用下,加速(sù)飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具(jù)有足夠(gòu)的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶(bǎ)材發生濺射。
廣(guǎng)泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機(jī)按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾(shì)性(xìng)鍍膜及工模具的功能塗(tú)層,在鍍製超黑(hēi)膜、純金裝飾膜、導(dǎo)電膜等(děng)領域有(yǒu)優勢。
1)、膜厚可控性和重(chóng)複性好(hǎo)。能夠(gòu)可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大(dà)的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射(shè)原子產生不(bú)同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原子(zǐ)與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料(liào)的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成(chéng)TiN仿金膜;
4)、膜層純度(dù)高,濺(jiàn)射膜(mó)層中不會混入坩鍋加(jiā)熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機(jī)組 | KT400擴散(sàn)泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴(kuò)散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) |
鍍膜係統 | 直(zhí)流或中(zhōng)頻電源、鍍膜輔助離(lí)子專用(yòng)電源 |
充氣係統 | 質(zhì)量(liàng)流量(liàng)計 | 質量流(liú)量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手(shǒu)動或(huò)全自動 | 手動或全(quán)自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以(yǐ)上設備參數僅(jǐn)做(zuò)參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂(dìng)做 |