真空鍍膜塗層膜厚測(cè)量方式?
作者: 來源: 日期:2021-07-14 12:19:06 人氣:2703
我們日常生活中,很多生活物品都經過鍍膜機鍍上(shàng)了一層膜層,讓產品不僅變得(dé)更美(měi)觀,也更實用(yòng)。但是很多人(rén)會有一個疑問,那既然是鍍了一層(céng)膜層,薄膜(mó)肯定是有厚(hòu)度大小的,那麽薄膜(mó)厚度具體多厚呢,以及怎(zěn)麽去測量?
薄膜(mó)必須(xū)沉積在基(jī)底之上, 所以離開了基片也就無從談薄(báo)膜沉積的問題。基片的清洗好壞又對薄膜的質最有極共重要的影響。同時在薄(báo)膜的製作中還必須知道薄膜的厚度,脫離了薄膜的厚度來談薄膜性質的測最也是亳無意義的(de)。 所以, 膜厚的測量和基片的清洗可以說是和薄膜製作相關的重要技術。一(yī)般所謂的厚度是(shì)指兩個完全平整的平行平麵之間的距離,這個概念是一個幾何概念。
理想的薄膜厚度是指基片表麵和薄膜表麵之間的距離(lí)。在薄膜形貌的三維度量中,相對於薄膜的厚度來講,其(qí)他兩維的度量可以說是無窮大。由於實際上存在的(de)表麵是不平(píng)整和不連續的,而且薄膜的內部還可能存在著氣孔、雜質、晶格(gé)缺陷(xiàn)和表麵吸附分子等(děng)等,所有要嚴格地定義和精確(què)地(dì)測量薄膜的厚(hòu)度實際上是很困難的。
膜厚(hòu)的定義位當(dāng)根據測址的方法和測址的目的決定。 因此,同一個薄膜(mó),使用不同的測量方法會得到不同的結果, 即不同的厚度。
在薄膜油測量中的表麵並不是一(yī)個幾何的概(gài)念,而是一個 物埋概念,是指表麵分子(zǐ)(原子)的集合。 平均表麵是指表麵(miàn)原(yuán)子所有的點到這個麵(miàn)的(de)距離(lí)代數和等於零, 平均表(biǎo)麵是一個兒何概(gài)念。
我們通常將基片的一側的表麵分子的集合的平均表麵稱為基片表麵;薄膜上不和基片接觸的那一側的表麵的平均(jun1)表麵稱為薄膜的形狀表麵,將所測量的薄膜原子重新排列,使其密度和大塊狀固體材料完全一樣(yàng)且均(jun1)勻的分布在基片表麵上,這時平均表麵稱為薄膜質量等(děng)價(jià)表麵;根據所測量薄膜的物理性(xìng)質等效為一種長度和寬度與所測量的薄(báo)膜一樣的大塊固體材(cái)料的薄膜,這時的平均表麵稱為薄膜物性等價表麵。 形狀膜厚是比較(jiào)接近於直(zhí)觀形式的膜厚(hòu), 通(tōng)常(cháng)以µm為單(dān)位; 質量膜厚反(fǎn)映了薄膜中包含物(wù)質為多(duō)少,通常 以 µg/cm#8217;為單位, 物性膜厚(hòu)在實際使用上較有用, 而且比較容易測量。
由於實際表麵並不(bú)平整,同時薄膜(mó)製作過程中又不可避免(miǎn)地要有各(gè)種缺陷、 雜質和吸附分子等存在,所以不管用哪 一種方法來定義和測量膜厚,都是一個平均值,而且足包括(kuò)了雜質、缺陷以及吸附分子(zǐ)在內的薄膜(mó)的厚度值。
真空鍍(dù)膜機(jī)鍍膜是在真空腔體下進行鍍(dù)膜的,對於測量膜厚度來說,是需要這方麵專業的測量儀才能測出厚度大小。